Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехно
- -15%
Введение в современную микро- и наносистемную технику
Описание и характеристики
- Тип обложки Твёрдый переплёт
- Количество страниц 232
- Вес, г 390
- Размер 1.8x15.4x21.7
- Издательство Инфра-Инженерия
- Год издания 2024
- ISBN 978-5-9729-1613-9
- ID товара 3006673
Отзывы
Уже жду следующую книгу автора
Большое спасибо автору за такой замечательный труд, очень мало русскоязычных книг про изготовление ИМС, технологические процессы и оборудование. Прекрасный обзор на полуроводниковое производство, здорово, что есть глава про чистые помещения, описания и параметры процессов. Хотелось бы ещё больше подробностей по каждому из них, больше информации с деталями по оборудованию, но и так книга замечательная.
Плюсы
Описание всех операций изготовления ИМС
Минусы
Нет главы про химико-механическую полировку и планаризацию, но этот процесс мало где описан