Александр Викторович Гридчин

Большое спасибо автору за такой замечательный труд, очень мало русскоязычных книг про изготовление ИМС, технологические процессы и оборудование. Прекрасный обзор на полуроводниковое производство, здорово, что есть глава про чистые помещения, описания и параметры процессов. Хотелось бы ещё больше подробностей по каждому из них, больше информации с деталями по оборудованию, но и так книга замечательная.