Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.

Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

Другие издания

Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие

Нет оценок
Купили 5 человек

Описание и характеристики

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.

Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

Отзывы на это издание

Оставьте отзыв и получите бонусы

Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.

Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.

Книга «Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие» есть в наличии в интернет-магазине «Читай-город» по привлекательной цене. Если вы находитесь в Москве, Санкт-Петербурге, Нижнем Новгороде, Казани, Екатеринбурге, Ростове-на-Дону или любом другом регионе России, вы можете оформить заказ на книгу Евгений Бодров «Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие» и выбрать удобный способ его получения: самовывоз, доставка курьером или отправка почтой. Чтобы покупать книги вам было ещё приятнее, мы регулярно проводим акции и конкурсы.