Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
- -17%
Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие. 2-е издание
Описание и характеристики
- Тип обложки Твёрдый переплёт
- Кол-во стр. 204
- Вес 354 г
- Издательство Инфра-Инженерия
- Автор Евгений Эдуардович Бодров
- Размер 1.6x15.3x21.5
- ID товара 3152348
- ISBN 9785972930876