Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
.В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др.
.Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрог
Введение в процессы интегральных микро-и нанотехнологий.Уч.пособ.для вуз.т.2
Этот товар закончился
Описание и характеристики
- Тип обложки Твёрдый переплёт
- Количество страниц 252
- Вес, г 370
- Размер 1.6x15x22.5
- Издательство БИНОМ. Лаборатория знаний
- Серия Нанотехнологии
- Год издания 2010
- Тираж 790
- ID товара 2257816