Учебное пособие содержит краткие сведения о технологиях производства наноматериалов и наноструктур, методах контроля кристаллической структуры и размеров нанокристаллитов, методах контроля электронной структуры и типа химических связей в наноматериалах, а также типа и концентрации точечных дефектов в наноматериалах. Для студентов учреждений среднего профессионального образования, обучающихся по укрупненным группам специальностей 11.02.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», 22.02.00 «Технологии материалов».