Современные датчики Справочник (Мир электроники). Фрайден Дж. (Технология)

Последнее издание дополнено описанием датчиков, реализованных по самым современным технологиям. Речь идет об электромеханических микродатчиках (MEMS) и об электрооптомеханических микросистемах (МЕОМS), без которых был бы невозможен такой резкий прогресс в областях беспроводных систем телекоммуникаций.