Кратко изложены основы сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены принципы работы основных типов зондовых микроскопов (сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа, электросилового микроскопа, магнитно-силового микроскопа, ближнепольного оптического микроскопа), наиболее широко используемых в научных исследованиях.
Для студентов факультета радиоэлектроники и автоматики. Может быть полезно специалистам, разрабатывающим наноустройства.