Книга Основы конструирования МЭМС-датчиков (Юрий Кернасовский) — 1

Основы конструирования МЭМС-датчиков

Юрий Кернасовский
Нет оценок
Посвящена развитию, проектированию и технологиям изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС), включая устройства космического назначения. Рассматриваются конструкции и принципы работы датчиков теплового потока, тепловых акселерометров и инфракрасных датчиков на основе термоэлектрического эффекта, а также их области применения и способы повышения технических характеристик. Значительное внимание уделено численному моделированию, снижению шумов, выбору материалов и конструктивно-технологиче
  • Переплёт
    Твёрдый
  • Кол-во стр.
    460
  • Вес
    672 г
  • Год издания
    2027

Отзывы

Оставьте отзыв и получите бонусы

Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.

Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.

Описание и характеристики

Посвящена развитию, проектированию и технологиям изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС), включая устройства космического назначения. Рассматриваются конструкции и принципы работы датчиков теплового потока, тепловых акселерометров и инфракрасных датчиков на основе термоэлектрического эффекта, а также их области применения и способы повышения технических характеристик. Значительное внимание уделено численному моделированию, снижению шумов, выбору материалов и конструктивно-технологическим решениям. Отдельные главы описывают микрообработку кремниевых и полимерных структур, фотолитографию, травление, осаждение материалов, соединение пластин и технологии 3D-МЭМС. Завершается работа анализом корпусов для микроэлектронных изделий и требований к корпусированию МЭМС-устройств. Для специалистов в области МЭМС. Будет полезно студентам, аспирантам и преподавателям технических вузов, специализирующихся в области микросистемной техники и ее многочисленных приложений.
Книга «Основы конструирования МЭМС-датчиков» есть в наличии в интернет-магазине «Читай-город» по привлекательной цене. Если вы находитесь в Москве, Санкт-Петербурге, Нижнем Новгороде, Казани, Екатеринбурге, Ростове-на-Дону или любом другом регионе России, вы можете оформить заказ на книгу Юрий Кернасовский «Основы конструирования МЭМС-датчиков» и выбрать удобный способ его получения: самовывоз, доставка курьером или отправка почтой. Чтобы покупать книги вам было ещё приятнее, мы регулярно проводим акции и конкурсы.