Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных. Для студентов, обучающихся по специальностям: «Управление и информатика в технических системах» (специалист), «Микроэлектроника и твердотельная электроника» (специалист), «Электронное машиностроение» (специалист), «Автоматизация технологичес