Ежемесячному междисциплинарному теоретическому и прикладному научно-техническому журналу "Нано- и микросистемная техника" исполнилось пять лет.Наиболее цитируемые статьи, опубликованные в журнале с ноября 1999 г. по март 2005 г., сгруппированы в соответствии с названием рубрик и позволяют проследить развитие от микро- к наносистемной технике в России. В книге рассмотрены общие вопросы, технологии формирования наноструктур, методы исследования наноструктур, метрологическое обеспечение, основы технологии, моделирование и конструирование компонентов нано- и микросистемной техники, перспективы их применения.Монография представляет интерес для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, аспи