Книга Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие () — 1

Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие

Нет оценок
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов
  • Переплёт
    Твёрдый
  • Кол-во стр.
    277
  • Вес
    379 г
  • Год издания
    2009

Отзывы

Оставьте отзыв и получите бонусы

Оставьте первый отзыв и получите за него бонусы.

Это поможет другим покупателям сделать правильный выбор.

Описание и характеристики

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
  • Переплёт
    Твёрдый
  • Кол-во стр.
    277
  • Вес
    379 г
  • Год издания
    2009
  • Издательство
    Просвещение-Союз
  • Размеры в см
    1.7x14.5x22.5
  • ID товара
    2197915
  • ISBN
    978-5-94774-904-5
Книга «Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие» есть в наличии в интернет-магазине «Читай-город» по привлекательной цене. Если вы находитесь в Москве, Санкт-Петербурге, Нижнем Новгороде, Казани, Екатеринбурге, Ростове-на-Дону или любом другом регионе России, вы можете оформить заказ на книгу «Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие» и выбрать удобный способ его получения: самовывоз, доставка курьером или отправка почтой. Чтобы покупать книги вам было ещё приятнее, мы регулярно проводим акции и конкурсы.