Ионная и фотонная обработка материалов
Купил 1 человек
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельн
- Переплёт Твёрдый
- Кол-во стр. 246
- Вес 380 г
- Год издания 2022
Отзывы
Описание и характеристики
- Переплёт Твёрдый
- Кол-во стр. 246
- Вес 380 г
- Год издания 2022
- Издательство
- Автор
- Размеры в см 1.8x14.6x20.5
- ID товара 3061883
- ISBN 978-985-06-3395-8
