Книга посвящена весьма актуальному новому направлению развития электроники - сенсорике, или, как принято в отечественной терминологии - микросистемотехнике. Авторы представляют Дельфтский технический университет, а также ряд ведущих западных фирм, разработки и продукция которых в достаточном объеме представлена на рынке электронных компонентов. Содержание книги отражает теоретические и практические достижения в области сенсорики и сенсорных систем, уровень которых позволяет квалифицировать их как интеллектуальные. Патентная защита предлагаемых технических решений свидетельствует о мировой новизне сенсорных устройств и способов высокоточных измерений. Предлагаемая научно-техническому сообщест