Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Яфаров Р. (Бином)

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового ...